HITACHI SU-8010高分辨场发射扫描电镜包括SU-8010主机和E-1045喷铂喷碳装置，并配备有EDAX X射线能谱仪。加速电压为15kV时，分辨率为1.0nm，加速电压为1kV时，分辨率为1.3nm。

主要用途：

扫描电镜（SEM）可观察纳米材料、材料断口的分析、观察原始表面、观察区域细节、显微结构分析等。

X射线能谱仪可进行成分的常规微区分析：元素定量、定性成分分析，实时微区成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量。分析范围Be4~U92。

已广泛应用于材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料、医药科学以及生物等领域。